抄録
セラミックスに関わらず表面構造解析によく用いられる薄膜Ｘ線回折法は、表面から僅かな内部層までの層変化を観測することが可能な解析手法である。本研究では、セラミックス膜の内部構造を含む薄膜Ｘ線回折データと表面近傍の回折データを用いて、内部層だけに依存する独立したＸ線回折ピークを観測することに成功した。この手法は内部構造の新規な解析法としての可能性が示唆された。これまで表層の回折強度に妨害されて困難であった層内部の独立した回折データを非破壊で収集することによって、多層膜の界面や内部構造の詳細な解析に発展させることが期待できる。
