抄録
ポリマー基板上へ密着性良く高機能性金属酸化物を微細構造化するためのプロセス開発を有機シラン系分子膜テンプレートを用いた水溶液プロセスにより実現した。予め、オキサイドナノスキン層を被覆したポリイミド基板上に、有機シラン分子膜テンプレートを形成した。膜の堆積は0.05 Mの塩化スズ(II)水溶液中、65℃で行った。微細構造化は溶液リソグラフィーによって行った。オキサイドナノスキンをバッファー層に用いることにより、酸化スズ前駆体膜とポリマー界面の密着性は著しく向上した。また、酸化物の膜厚を任意の膜厚（数nm～1mm）で、高解像度に微細加工できることが明らかとなった。
