静電噴霧法で作製した酸化スズ微粒子層のガスセンサ特性

抄録

本研究では、塩化スズ(II)-エタノール溶液を原料として静電噴霧法で作製した酸化スズ微粒子層のガスセンサ特性について報告する。特に検知ガスの存在下において、センサ素子の動作温度を変化させることによる動的応答を利用したガス識別を試みる。