光触媒リソグラフィー法

抄録

発表者らのグループは、酸化チタン光触媒が、気相を介して非接触状態の固体表面を酸化することを見出した。また、フォトマスクを使ってこの反応の起こる領域を制御すれば、固体表面をパターニングできることも見出した。この方法を光触媒リソグラフィー法と呼んでいる。プラスチック、ダイヤ、シリコン、銀、銅など、さまざまな材料の表面を改質・パターニングできる。また、超撥水化したガラスなどの表面もパターニングできる。この手法は、バイオチップ、ラボオンチップ、カラーフィルターなどの作製に応用できると考えられる。その機構についても解説する予定である。