アモルファスアルミナ膜におけるマイクロクラック

抄録

大気開放型化学気相析出法で作製したアモルファスアルミナ膜を６００℃でアニールした。アニール後に膜の表面にマイクロクラックが発生したことを確認した。マイクロクラックはアニール温度３００℃で発生した。また３００℃以上で水の離脱が起こることを確認した。したがって、マイクロクラックは、アニールにおける水の離脱に伴う体積縮小で生じることがわかった。