抄録
我々は、気相法の一種であるパルス細線放電法を用いた超微粒子量産装置の開発を行っている。パルス細線放電法は、原料である金属細線を加熱する時のエネルギー変換効率が非常に高いといった特徴がある。これまでの開発の結果、超微粒子量産に必要な基本動作は可能になった。しかし、放電後に細線がホルダーに固着する問題があった。これは、_丸1_細線‐ホルダー間のアーク放電、または_丸2_放電時の温度上昇による細線の溶解が原因と考えられた。今回新たに細線‐ホルダー間に絶縁体スリーブを挿入することにより、固着の問題を解決した。これにより、超微粒子の量産に近づくことができた。
