水溶液からのIn2O3前駆体薄膜の析出に対する共存陰イオンの影響

抄録

水溶液中のインジウム(III)ペルオキソ錯体の自発的分解を利用して、スライドガラス上に水酸化インジウムの薄膜を析出させた。水酸化インジウム薄膜を空気中200℃以上の温度で焼成することによりIn₂O₃薄膜が得られた。原料として用いるインジウム塩の種類に依存して、析出する水酸化インジウム薄膜の析出速度、可視光透過率、微細構造が変化した。本発表では、水酸化インジウム薄膜を析出させる際に、原料水溶液に種々の陰イオンを共存させ、析出した薄膜の性状に対する影響を報告する。焼成後の酸化インジウム薄膜のいくつかの性質に関してもあわせて報告する。