化学溶液法によるBi4Ti3O12系強誘電体薄膜の低温作製へのアプローチ

抄録

Bi₄Ti₃O₁₂などのビスマス層状強誘電体は、その構造的特徴を活かすことにより優れた強誘電性を発現する化合物系を設計可能なことが知られている。本発表では、Bi₄Ti₃O₁₂系化合物を中心に、高均質な目的化合物が得られ、かつ薄膜の化学組成制御が容易な化学溶液プロセスによる高機能Bi₄Ti₃O₁₂系化合物薄膜の低温作製を目指した研究結果について報告する。