エアロゾルデポジション法によるバルク状 PZT の作製

抄録

エアロゾルデポジション法(ＡＤ法)は、セラミックス原料粉をガスと混合してエアロゾル化し、ノズルを通して基板に噴射することで、緻密なセラミックス膜を基板上に作製する手法である。ＡＤ法で作製したPZT膜はバルク焼結体と同等以上の機械特性を有することが知られている。その一方で、電気特性に関しては、バルク焼結体と同等の特性が得られたという報告は少ない。この理由としては、基板拘束の影響や焼成時の基板との反応等が懸念されている。そこで本研究では、ＡＤ法で数百μm厚のPZTを作製した後、基板から剥離することでバルク状試料を作製し、焼成温度と結晶構造及び電気特性の関係について調査した。