高速抵抗スイッチングTiO₂/TiNナノクリスタルのナノ構造と電子輸送特性

抄録

数十ナノ秒、数ボルトの極性パルスにより超高速抵抗スイッチングを示すTiO2/TiNナノ結晶薄膜のナノ構造と電子輸送特性との関係が高分解能電子顕微鏡（HR-TEM)、電子線エネルギー損失分光（EELS)を用いて調べられた。高抵抗状態、低抵抗状態のどちらの試料もTiO2ナノ結晶はアナターゼ型であることが明らかになった。σ-1/Tプロットの結果からMott転移が起きていることが推定された。