抄録
本グループでは、層状化合物の単層剥離により得られる酸化物ナノシートを構築単位に用いて、ナノ組織体を設計的に構築する技術の確立と高度な電磁気機能の創製を目指した研究を進めている。本研究では、最近開発した高誘電体チタニアナノシートを利用したユニークなデバイス作製技術と、高誘電体デバイスへの応用の可能性について検討する。溶液プロセスを用いたLayer-by-Layer積層集積により、超平滑電極上に不純物や欠陥のない積層ナノ薄膜の作製に成功した。その結果、従来のバルク体や薄膜では到達困難な薄膜化と高容量化が実現し、膜厚5？15nmの超薄膜では世界最高レベルの漏れ電流特性と高誘電率を有する高容量誘電体素子の開発に成功した（尚、本内容はＮＨＫおはよう日本でも紹介された）。
