抄録
JFCCでは、ZnOを母体にしたEr添加ZnO薄膜を検討し、ポストアニール工程を導入することでAs-depo試料よりも近赤外発光効率が上昇することを示した。しかし実用上は更なる発光強度の向上を目指す必要がある。薄膜のような非平衡反応ではプロセス条件が結晶そのものに影響を与える。そこで本研究では、発光強度向上を第１目標とし、薄膜作製時のプロセスと発光強度との関係を明らかにすることを目指した。結果は2つに大別された。すなわち(1)As depo試料で比較すると、スパッタ終了後にヒータoffするクエンチに近い状態の方が発光強度は強く、平衡条件に近いゆっくりとした降温速度では大きく減少した。また(2)アニール条件に関しては、酸素濃度が多くするにしたがい、発光強度が増加していく傾向を示した。アニールすることにより強度の向上は認められるが、さらに酸素富化条件ではAsdepo試料に比べて約10倍に達している。
