3電極式電気泳動法を用いたマイクロリチウム電池用電極の作製

抄録

われわれの研究グループでは電気泳動法を用いたマイクロパターニング技術に関する検討を行っている。本発表では、電気泳動プロセスに用いる電場をマイクロスケールで高度に制御するために微小くし形電極と補助電極から構成される3電極式の電気泳動法をマイクロリチウム電池の正極作製プロセスへ適用した結果について報告する。