LTCC内蔵キャパシタンス用BaTiO3セラミックス

抄録

LTCC積層誘電体はマイクロ波用誘電体フィルタ、通信用RFモジュール、自動車用配線基板などに使われている。モジュール、配線基板ではICのノイズ除去用デカップリングキャパシタンスが必要となる。そこでLTCCに内蔵し、同時焼成可能なBaTiO3を開発した。930℃焼成のBaTiO3セラミックスでコアシェル構造を持ち、比誘電率1900、誘電損失0.6%、温度特性X7R:EIA規格適応、という特性を得た。本発表は積層誘電体フィルタの材料、構造などを解説し、低温焼成BaTiO3セラミックスの特性、用途などを紹介する。