機械的粒子複合化プロセスを用いたAlNセラミックスの作製

抄録

機械的粒子複合化プロセスによりAlNサブミクロン粉体中にイットリアナノ粉体を均一分散させ、焼結体を作製した。得られた焼結体の機械的特性及び熱的特性を調査した。詳細は本発表にて報告する予定である。