粒子複合化プロセスを用いたTiN粒子分散Si^{3N4セラミックスの作製と評価}

抄録

Si₃N₄セラミックスはベアリング等の摺動部材に用いられている。 典型的なベアリング用Si3N4セラミックスはSi₃N₄にY₂O₃、Al₂O₃、TiO₂、AlNを添加して作製されるが、その粒界にはTiO₂から生成したTiN粒子が分散している。本研究により、TiO₂粒子を粒子複合化プロセスにより均一に分散させることにより、TiN粒子分散Si₃N₄セラミックスを作製し、その機械的特性が向上した事が確認できた。