顕微インデンテーション法による薄膜/基板複合体の弾塑性圧子力学

抄録

基板上にコーティングされた薄膜（薄膜/基板複合体）の圧子圧入試験評価においては慣用の接触面積近似手法はまったく適用できず、厳密な解析・評価手法を確立する際の大きな障害となっている。 本研究では、接触面積をその場定量計測可能な顕微インデンターを用いて弾塑性薄膜/基板複合体の圧子力学を構築することを目的とする。各種基板上に被覆した有機/無機ハイブリッド薄膜に対して顕微インデンテーション試験を行い、弾塑性薄膜/基板複合体の圧子力学解析に関する検討を行った。この結果、基板の影響を受ける膜の弾塑性変形挙動は基板の弾性効果によって支配されることが明らかとなった。