抄録
抵抗型酸素センサのガス検出材としてCe0.9Zr0.1O2(CZ)厚膜、温度補償材としてZr0.8Y0.2O2-δ(ZY)厚膜を用いた抵抗型酸素センサ素子を初めて試作し、模擬排気ガス中でのガス検出材および温度補償材の抵抗およびセンサ出力について調査し、試作した素子のラムダセンサ(リッチであるか、リーンであるかを識別できるセンサ)としての性能を評価した。その結果、CZ厚膜の抵抗の活性化エネルギーはリッチおよびリーンでそれぞれ0.41および1.20eVであり、その中間値は0.8eVであった。ZY厚膜の抵抗値は、リッチとリーンでほぼ同じであり、その活性化エネルギーはリッチおよびリーンにおいて0.92および0.98eVであった。これは、CZ厚膜の活性化エネルギーの中間値と類似していた。この結果は、CZ厚膜とZY厚膜の組み合わせが良いことを示す。また、本研究で試作した酸素センサは、センサの温度を制御しなくても広い温度範囲でラムダセンサとして機能することがわかった。
