溶液法で作製したMoO3薄膜を用いた有機/MoO3ハイブリッドVOCセンサの開発

抄録

酸化モリブデン(MoO3)層間に有機化合物をインターカレートしたハイブリッド材料は、高い選択性と感度を有した新しいVOCガスセンサへの応用が期待されている。本研究では、量産性に優れた工法である溶液法を用いてMoO3薄膜の作製を検討し、高い配向性を有したMoO3薄膜が作製可能であることを示した。さらにそのMoO3薄膜をポリアニリンと層状に複合化することで基板上にセンサ素子を作製し、ppbオーダーのアルデヒドガスに対して応答するVOCセンサを開発したことを報告する。