抄録
ゾルーゲル法によるハフニア薄膜の水に対する接触角は約90°であり，セラミックス薄膜としては高い撥水性を示す。我々は水溶液プロセスによる簡便な方法でハフニア薄膜を作製することに成功した。また，溶媒としてエタノールを用いた有機溶媒の系においても，有機酸を含むハフニア薄膜が作製された。この薄膜は，高硬度（鉛筆硬度9H以上）を示すと同時に撥水性も示す。有機酸をギ酸，酢酸，プロピオン酸などに変えて，これらの有機酸を含むハフニア薄膜を作製した。薄膜表面には，有機酸の官能基およびHfイオンに結合したOH基が存在している。これらの薄膜は水に対する接触角は約90°であり撥水性を示す。また，滑水性は用いた有機酸に依存して変化したので，有機酸により表面機能が制御できることを明らかにした。
