ゾル－ゲル法によるギ酸を含むハフニア薄膜の作製とその硬化プロセスの解析

抄録

水系による金属酸化物ゾルの作製法は，環境対策上良好な方法である。しかし，現時点における実用的観点からは，現有製造設備が使用困難等の問題点も多い。そこで我々は，エタノール溶媒中でゾル－ゲル法により有機酸としてギ酸を含む新規ハフニアゾルを作製した。これをガラス基板上に塗布し，高圧水銀灯を用いて紫外線を照射することにより，鉛筆硬度9H以上の高硬度で撥水性を示すハフニア薄膜を得た。その硬化プロセスをFT-IRや昇温脱離法などにより解析した。