イオンビームにより合成されるセラミックナノワイヤーの形態制御

抄録

イオンビーム照射により、前駆体高分子からセラミックナノワイヤーを合成する新規合成法を開発した。ポリカルボシラン薄膜にイオンビームを照射すると、その飛跡に沿ってナノオーダーの架橋体が形成される。未架橋部を溶媒で除去し焼成することで、架橋部をセラミックナノワイヤーに転換できる。ナノワイヤーの直径は、イオンビームのLET及び分子量、架橋効率で、長さは膜厚により制御可能である。また、多層膜をターゲットに用いることで形態制御を可能とした。