チタン酸バリウムストロンチウム薄膜キャパシタの電気誘電特性に及ぼす水素原子の影響

抄録

近年の携帯端末の高機能化に伴う電気回路の高周波化や小型低背化に向け薄膜キャパシタの研究開発が進められている。この薄膜キャパシタの信頼性には薄膜キャパシタ中に存在する欠陥が少なからず影響を及ぼしているため、その信頼性向上のためにはキャパシタ中の欠陥の振る舞いが薄膜キャパシタの電気誘電特性に及ぼす影響について理解することが不可欠である。本発表では、BST誘電体薄膜中における欠陥の振る舞いと薄膜キャパシタの特性との関係について述べる。