BaTiO3結晶ナノ粒子から作製した誘電体薄膜の微細構造および特性評価

抄録

ゾルゲル法を用い、平均粒径5～10nmのチタン酸バリウム粒子を合成した。 その粒子をアルコール中に分散させ、単分散スラリーを作製した。スピンコート法により、スラリーをPt/TiOx/SiO2/Si基板上に塗布・乾燥し、熱処理するというプロセスを数回繰り返し、厚さ約200nmの膜を作製した。TEMを用いて膜の断面観察を行ったところ、100～200nm程度の柱状結晶粒子からなる緻密な構造体であることが分かった。さらに、この膜は誘電率500、誘電損失1%以下と、優れた電気的特性を示した。