塗布光照射法による酸化スズ薄膜の作製

抄録

近年、酸化スズ薄膜を用いたマイクロセンサの開発が進められている。塗布光照射法は、低温かつ高速に酸化物薄膜の結晶成長が可能であることに加え、フォトマスクを用いて基板に塗布した有機膜にレーザ光を照射することでパターニングができるため、マイクロガスセンサやセンサアレイの作製が期待できる。本研究では、塗布光照射法を用いて各種基板上に酸化スズ薄膜の作製を行い、生成膜の結晶性や配向性の違い、膜の形状制御、パターニング及び結晶成長機構について報告する。