抄録
Si基板上に酸化物をエピタキシャル成長させるための基本的なバッファー層の一種である蛍石構造CeO2/YSZ薄膜上に、SrTiO3(STO)をはじめとして、ほとんどのペロブスカイト型絶縁性酸化物を成膜すると、(110)配向することが知られている。これに対して、(La0.5Sr0.5)CoO3 (LSCO)を成膜すると(001)配向すること、SrRuO3(SRO)の場合には完全な(001)配向膜を作る事が困難で(110)配向が混在しやすいことなどが経験的に知られている。しかしながら、その原因は必ずしも明らかではない。本研究ではRHEED観察によりCeO2上におけるSROを(001)配向させるための条件を明らかにすることを目的とする。
