日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第20回秋季シンポジウム
セッションID: 3L05
会議情報

主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

３次元PZTキャパシタのMOCVD合成
*舟窪 浩, 永井 篤史, 南館 純, Choi Chel Jong, Koo June-Mo, Park Youngsoo
著者情報
キーワード: PZT, ３次元, MOCVD
会議録・要旨集 フリー

詳細
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
抄録
PZTの３次元キャパシタ作製をMOCVD法で試みたので報告する。膜厚の均一性のみならず、組成の均一を確保するため、原料の選択、製膜条件、電極とPZTの最適化を行った。
著者関連情報
© 　日本セラミックス協会　2007
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top