(Ba,Sr)TiO3高誘電体薄膜のスパッタ作製と温度-電気的特性

西田 貴司; 河野 琢磨; Bhakdisongkhram Gun; 土川 卓也; 越前 正洋; 武田 博明; 内山 潔; 塩嵜 忠

doi:10.14853/pcersj.2007S.0.168.0

2007年年会講演予稿集

セッションID: 2B02

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2007S.0.168.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

(Ba,Sr)TiO₃高誘電体薄膜のスパッタ作製と温度-電気的特性

*西田貴司, 河野琢磨, Bhakdisongkhram Gun, 土川卓也, 越前正洋, 武田博明, 内山潔, 塩嵜忠

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キーワード: Ba(Sr,Ti)O3薄膜, マイクロ波集積回路, スパッタ成膜, チューナブル素子, サファイア, 誘電体薄膜

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抄録

マイクロ波集積回路への応用を期待して、Ba(Sr,Ti)O3 (BST)の薄膜形成をスパッタ法により行った。作製条件を変化させ、膜の品質と特性への影響について調べた。基板材料としては、MgOに加えてコストや化学的に安定なα-Al2O3やSiを用い、650℃と比較的低い基板温度を用いた。α-Al2O3においてもエピタキシャル膜が得られるものの、作製条件の中でも特にスパッタガスの酸素分圧が膜質に影響し、低酸素分圧ほど良好な膜が得られることがわかった。その他、特に誘電特性の温度依存性について報告する。

責任著者(Corresponding author)

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