抄録
精密機械加工や電子顕微鏡分野において、現在のレベル以上の微細な制御や観察をするための阻害要因として、系内の構造材料に生ずる振動が考えられる。この問題には、構造材料自体に優れた制振性を持たせることが有効である。我々は基材としてAl2TiO5-MgTi2O5固溶体系セラミックスを選択し、その制振性を高め、高分子と複合化することで、ヤング率50～60GPa、内部摩擦0.01～0.03と、剛性と制振性を併せ持つ材料を開発してきた。制振材料として用いる際には温度をはじめとする使用時の環境で最適な効果を発揮できるかどうかが重要である。複合材料の内部摩擦について温度依存性を動的粘弾性測定で評価した結果、複合材料の温度依存性は含浸した高分子の温度依存性に強く影響されることが示された。
