フリースタンディング型マイクロ熱電式水素センサ

抄録

熱電式水素センサのマイクロ素子は、薄い誘電体薄膜メンブレンの上に、熱電薄膜、ヒーター、電極、触媒パターンを形成した構造を有する。本研究は、そのメンブレンを無くした、フリースタンディング型マイクロ素子の作製を試みた。メンブレンを除去するプロセス技術の開発と、フリースタンディング型の水素検知性能を報告する。