ソフトリソグラフィを利用した酸化スズナノ粒子マイクロセンサー

抄録

ナノ粒子を集積するボトムアッププロセスの一つとしてマイクロ鋳型毛管力法（MIMIC）によるマイクロパターニングの研究を進めている。本発表では酸化スズナノ粒子(NanoTek)を配列したマイクロライン（幅:23um,厚さ:3.5um）のエタノールガスに対するセンシング特性を報告する。また、ガスセンサーの集積化の可能性についても議論したい。