シリケートコーティングに対する真空紫外光照射の効果

抄録

ポリマー基板へゾル-ゲル法で調製したシリケートをコーティングし、VUV光を照射することにより、シリケートコーティングの硬化や接着強度の向上の可能性を検討している。基板にスピンコートし、窒素ガス下でキセノンエキシマーランプで照射することにより進行する結合状態の変化を、主にFTIRで追跡した。照射に伴い、Si-C結合が切断すること、Si-O-Siの結合状態に変化が起こることを見出した。このような結合の変化が、シリケート膜の硬化を引き起こす可能性について議論する。