ZnOバリスタのアニール処理による課電劣化の促進

抄録

ZnOバリスタはアニール処理をすることで格子間イオンが既定の位置に戻り耐課電劣化特性が向上すると報告されている。しかし，添加不純物の種類・量によってはアニール処理すると課電劣化が促進される試料が得られることがある。課電劣化の要因と考えられる酸素イオンの移動は粒界に偏析しているBi₂O₃相を通ると考えられる。このため，本研究ではアニール処理によるBi₂O₃の結晶構造および結晶性の変化と課電劣化の関係について調べた。アニール処理をすることで耐課電劣化特性が促進された試料はγ-Bi₂O₃へ相転移していた。一方，γ-Bi₂O₃の結晶構造が型に変化しなかった試料では耐課電劣化特性は改善された。これより，アニール処理による課電劣化の促進はBi₂O₃の結晶構造が関係していると考えられる。