PVP支援ゾル-ゲル法による1ミクロン厚チタニア薄膜の１回成膜と気孔率に及ぼす諸条件の影響

抄録

　演者らはこれまでに、ポリビニルピロリドン（PVP）を含有するアルコキシド溶液をコーティング液とすることにより、ゲル膜の作製と焼成からなる１回のコーティング操作で、亀裂発生を伴うことなく1ミクロン以上の厚さをもつセラミック薄膜を作製できることを明らかにしている。本研究ではこの方法によるチタニア薄膜の作製を試みるとともに、薄膜の気孔率に及ぼす成膜条件の影響を系統的に調べた。