低融性スズリン酸塩ガラスの作製と熱インプリントによるパターン成形

抄録

ガラス転移温度300^oC以下の透明な低軟化ガラスである67SnO-33P₂O₅ (SP)ガラスを溶融法で作製し、熱インプリントを行った。表面にマイクロ/ナノパターンのあるシリカモールドはインプリント装置を用いて様々な条件下で直接SPガラスにプレスした。その結果、成形温度255^oC以上では良好なパターン成形はできなかったが、モールドと同じ120 nmの深さを成形するための最適条件は成形温度250^oC、圧力6 MPa、加圧時間1 minとわかった。その最適条件の下、表面粗さが約10 nmのSPガラス表面上に深さ120 nmの700×700 nm正方形格子パターンを成形することに成功した。