電気泳動電着法による(001)SrTiO₃:Nb基板上へのBaTiO₃ナノ結晶薄膜の作製と評価

抄録

高濃度ゾル－ゲル法により作製した8-10 nmのBaTiO₃をエタノール中に分散させ、ゼータ電位が＋30 mVという安定な分散系を得た。我々はその溶液を用いて、5V、5分の条件で電気泳動電着を行い、導電性をもつ(001)SrTiO₃基板上にBaTiO₃ナノ結晶粒子薄膜を作製した。さらにその薄膜を1000℃以下で焼成することで、BaTiO₃結晶粒子が基板に対してエピタキシャル的に配向している可能性を示す結果を得ることができた。なおこの薄膜の形態及び結晶配向性評価はXRD、SEM、AFM及びラマン分光を用いて行った。