ゾル-ゲル法によるチタン酸バリウムナノ結晶薄膜の液相界面合成と評価

抄録

チタン酸バリウム（BaTiO₃）粒子のナノ粒子化は、積層セラミックコンデンサの誘電体層の薄層化や、サイズ効果の解明の観点から興味が持たれている。その際問題となるのは、ナノ粒子化による強誘電性の消失や誘電率の減少である。ここでは、ゾル-ゲル法を用いて液相表面に形成したBaTiO₃膜を低温焼結して得た、数十nmの微小なBaTiO₃粒子からなる緻密な膜の作製と誘電性について報告する。