抄録
SiC材料はマイクロ波の作用により高い発熱性を示すため、セラミックスのマイクロ波焼結において加熱補助材（サセプター）として用いられている。我々はこの特徴を利用し、誘電損率の高いセラミックスを焼成するための工業用マイクロ波焼成炉において、被焼成物を積載する焼成道具にSiC質耐火物を適用することにより迅速かつ均一な焼成手法を開発した。本発表では、マルチモード型マイクロ波焼成炉における、SiC質棚板を用いた多段積み加熱手法について報告する。また、新しいマイクロ波照射手法である進行波型マイクロ波中におけるSiC質耐火物の微構造と発熱挙動の関係、およびSiC質耐火物を用いた進行波型連続焼成炉の開発について報告する。
