高温大気中の熱電薄膜性能評価

抄録

我々は高温大気中のような過酷環境下での薄膜試料計測の 研究開発を進めている。本研究では、高温仕様の測定用治具を作製しSiGe 薄膜等の薄膜熱電材料のゼーベック係数を計測し、その精度を確かめるた め、キャリアー濃度計測の結果と比較検討を行った。