抄録
誘電体や強誘電体などの電子セラミックスは、シリコン半導体などに集積され、各種の小型電子機器へ搭載されて、その頭脳としての役割を担う。そのため、電子セラミックスの集積プロセスの低温化や集積化エレクトロニクスの構造制御技術は、高度情報化社会の根幹を支える技術として位置づけられる。また、電子セラミックスにおける有害元素の代替や無害化に伴う材料技術開発は、持続型発展可能な社会の実現のために必要不可欠な課題である。溶液原料を用いてエレクトロセラミックスをシリコン半導体などに集積するケミカルプロセスは、新しい機能を誘導するための汎用的な手法として知られている。本研究では、有機金属化合物の溶液化学反応を基にエレクトロセラミックス前駆体の構造を制御し、集積体における微細構造の最適化と電子機能の向上を図る。
