Si₃N₄セラミックスの緻密化挙動と微構造に及ぼすTiO₂ナノ粒子添加の影響

抄録

本研究では、助剤としてナノサイズのTiO₂を使用し、焼結体内に生成するTiN粒子をナノサイズ化したSi₃N₄焼結体の緻密化挙動と微構造の変化を調査した。 調査の結果、TiO₂の量により低温での収縮率が変化することがわかった。また、Si₃N₄柱状粒子についてもTiO₂の量と粒子形状に相関がみられた。これは、助剤の添加量による液相の状態の違い、粒子成長の阻害効果の違いに起因するものと推測される。