PLD法で作製したSrTiO3薄膜を用いた酸素センサーの特性に及ぼすDy添加効果

抄録

SrTiO3薄膜を用いたナノドメイン型の酸素センサーの酸素感受性に及ぼすDy添加効果を明らかにした。Dy添加により薄膜の表面の抵抗が増加し、酸素感受性が上昇した。このことはDyはペロブスカイト構造のAサイトおよびBサイトの両方に置換固溶したために、バッファー状態が形成し、キャリアの電子を相殺したためであると考えられる。