CSD 法チタン酸バリウム薄膜の特性に及ぼす前駆体の影響

抄録

チタン酸バリウムBaTiO₃（BT）はペロブスカイト構造を有する強誘電体物質であり、その優れた誘電特性から高周波デバイスやセラミックコンデンサなどへの応用がなされている。我々は、CSD法（化学溶液法）によりBT薄膜の作製を行った。CSD法により、薄膜の作製を行う場合、前駆体溶液が薄膜の電気特性や微構造に及ぼす影響は大きい。本研究では、前駆体溶液調製時に分子設計を行うことによって、高重合度を有する前駆体溶液の調製を試み、薄膜の特性に及ぼす影響を調査した。