Au-Pd-Pt/Co3O4触媒を用いた熱電式COセンサの高感度化

抄録

マイクロ熱電式ガスセンサデバイス上にAu-Pd-Pt/Co3O4触媒を集積化し、CO検知用のセンサ作製を試みた。これまでにマイクロデバイス上へ集積化するCO燃焼触媒として開発したAu/Co3O4と比較し、PdおよびPtを加えることで燃焼性能が向上するとともに、貴金属担持量によりCO燃焼性能および選択性が異なることが明らかになった。