抄録
現在NO2濃度の環境基準に未達成地域が依然として多くある。NO2の発生源は、特に都市部では主に自動車であるため、道路沿道におけるNO2の動態を詳細に把握したうえ対策を講ずる必要がある。本研究はWO3を用いて、道路沿道測定用として小型高感度NO2ガスセンサの開発を目標として実用化研究を行った。
WO3は調製条件により種々の結晶形態が生成され、その形態によりNO2応答特性が異なる。本研究では水熱合成によりWO3結晶形態・粒子径の制御を行い、優れたNO2応答特性を示したキューボイド状WO3と板状WO3を調製した。これらのWO3を用いて、均質な薄膜を持つ実用化薄膜センサを作製し、10 ppb ～ 0.5 ppm NO2に対しセンサ特性の評価を行った。また、様々な要因（センサの動作温度、共存ガス等）がセンサ特性に与える影響についえ考察し、環境測定用高感度ガスセンサへの実用性について評価した。
