一体焼結積層圧電材料を用いたセンサ、アクチュエータデバイスについて

抄録

村田製作所では一体焼結積層構造の圧電体、およびそれを用いた商品を生産しており、これまでジャイロセンサ、ショックセンサなどの各種センサ、圧電トランスやアクチュエータなどのトランスデューサを商品化してきた。積層圧電体は、駆動電圧の低減化や分極方向等の組み合わせによる振動モード制御等が可能となり、また一体焼結とすることによって接着層による音響的、機械的を損失を低減できるという特徴を有している。本稿では、積層圧電体を応用した商品について、筆者が直接担当した圧電トランスと音速センサを中心にその特徴や応用例について概説する