造孔剤を添加して作製したポスト反応焼結窒化ケイ素の機械的特性

抄録

ポスト反応焼結法は原料Siに焼結助剤を添加して成形し、成形体を窒化、緻密化することで窒化ケイ素セラミックスを得る手法である。ポスト反応焼結法はSiの窒化反応が発熱反応であるため、製造途中でSiが溶融してサンプルの外へと噴出し、各種特性を下げることがある。造孔剤を添加することにより、この問題の解決を試みた。造孔剤には、窒化時に溶融したSiを少しずつ孔に逃がすことで一気に噴出することを避ける効果と、窒素ガスを試料中心部まで効率よく拡散させる働きの二つが期待される。本研究では、造孔剤を添加した原料Siを用いてポスト反応焼結窒化ケイ素を作製し、その機械的特性に及ぼす影響について検討することを目的とした。