抄録
窒化ケイ素セラミックスは、優れた機械的特性に加えて高い理論熱伝導率を持つことから、パワーデバイス半導体用の放熱基板材料として注目を浴びている。周らは、高純度シリコン粉末を出発原料として用い、焼結助剤を添加したシリコン成形体の窒化反応・ポスト焼結法により高強度と高熱伝導率を合わせもつ窒化ケイ素の作製が可能であることを報告している１）。工業用途の観点からは、安価なシリコンを用いることが必要であり、原料に含まれる金属不純物の種類と量が窒化ケイ素焼結体の特性に及ぼす影響を調査することは極めて重要である。
本発表でFeについてその存在量が反応焼結・ポスト焼結法で得られた窒化ケイ素の熱的・機械的・電気的特性に及ぼす影響について報告する。
