湿式ジェットミルを用いて作製したTiNナノ粒子分散Si₃N₄セラミックスの機械的特性

抄録

TiN粒子分散Si₃N₄セラミックスは、TiNがSi₃N₄の粒界を強化して接触疲労特性が向上することから、軸受用材料として応用されている。このようなTiN粒子分散Si₃N₄セラミックスにおいて、高硬度なTiNを微細化することにより軸受等で使用する際の相手金属攻撃性が低減することが期待されるが、これを実現するためには原料中にナノサイズのTiO₂粒子を均一に分散することが必須である。そこで、本研究ではナノ粒子の分散に有効である湿式ジェットミルを用いてTiO₂ナノ粒子の均一分散を図った。また、３点曲げ試験及びボールオンディスク試験から機械的特性の評価を行った。その結果、ジェットミルを用いて作製した試料はボールミルで作製した試料よりも平均強度が上昇し、相手攻撃性も低減することを確認した。