ニオブドープ酸化チタン薄膜の導電性に及ぼす結晶構造と酸素欠損の影響

抄録

近年見出された透明導電体であるニオブドープ酸化チタンは還元アニーリングすると導電性が発現するが，出発原料が同一の組成でも，薄膜作製条件によってシート抵抗が大きく変化する。そこで本研究では，同一組成で条件を変えてニオブドープ酸化チタン薄膜を作製し，薄膜のXRD測定，ラマン分光分析，XAFS測定等を実施し，薄膜の構造解析を行った。その結果，シート抵抗が極端に大きな薄膜では結晶性があまり良くなく，結晶化した部分においてもアナターゼ型と共に，導電性に劣るルチル型が共存していた。一方，シート抵抗が低い薄膜では結晶性が高く，導電性に優れるアナターゼ型酸化チタンであり，また，導電性に寄与する酸素欠損量の導入量が多いことが示唆された。